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이용수
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
5. 참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구
한국표면공학회지
1993 .06
CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
열 필라멘트 CVD법에 의한 다이아몬드 박막합성과 기판 사전처리의 영향
한국재료학회지
1995 .01
반응기판의 회전 속도에 따른 CVD 반응기 내의 유동 특성과 증착률에 관한 수치적 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
CVD 그래핀과 폴리머 기판 사이의 점착 및 마찰 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
Si기판위에서 CVD를 이용한 gate dielectric 용 HfO$_2$ 박막의 증착과 분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
3실 분리형 광 CVD장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성 ( Dependence of characteristics of undoped a-Si : H film prepared by 3 separated reaction chamber photo-CVD apparatus on substrate temperature )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술
한국산학기술학회 논문지
2000 .06
3실 분리형 광 CVD 장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
비정질 박막의 결정화에 미치는 기판의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Thermal CVD 반응로 내부의 성장 온도 변화에 따른 기판 주위에서의 열ㆍ유동장에 대한 수치해석적 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2004 .06
알루미늄 박막의 표면화학반응이 버 감소에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄 박막 형성 ( Fabrication of CVD Aluminum for the Metallization of High Level IC )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
CVD 기술동향
전자공학회지
2001 .08
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
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