Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Water vapor barrier properties of ZnO coating deposited on PEN film by PECVD

송준용 ,  김주호 ,  박태재 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Effect of oxygen flow rate on water vapor barrier properties of ZnO coating deposited on PEN film by PECVD

송준용 ,  김주호 ,  김성룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Study of water vapor barrier properties of silicon oxide (SiOx) coatings on PET by PECVD

Choudhu ,  y Moinul Haque ,  김원호 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .10

결정질 실리콘 태양전지의 이중 반사방지막 특성에 대한 연구

김진국 ,  박제준 ,  홍지화 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2012 .03

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD를 이용한 MoS₂ 원자층 합성

김형우 ,  안치성 ,  Gi 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

Effect of gas flow rate ratio of diethyl zinc and oxygen on water vapor barrier properties by PECVD

송준용 ,  정현옥 ,  김성룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD법에 의한 나노클러스터의 형성 및 메카니즘

윤용섭

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2012 .10

PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태 ,  허성익 ,  박영준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01