Barrier properties of silicon oxide (SiOx) coatings on polymeric substrates by PECVD : Effects of argon flow rate, oxygen flow rate and bias voltage

Choudhu ,  y Moinul Haque ,  김원호 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

Water vapor barrier properties of ZnO coating deposited on PEN film by PECVD

송준용 ,  김주호 ,  박태재 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

Effect of oxygen flow rate on water vapor barrier properties of ZnO coating deposited on PEN film by PECVD

송준용 ,  김주호 ,  김성룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Water vapor barriers on polyethylene naphthalate using SiOx and ZnO plasma enhanced chemical vapor deposition

김정용 ,  송준용 ,  이희진 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Closed Drift Linear Source 공정을 이용한 SiO_xC_yH_z barrier films 제작

강용진 ,  이승훈 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Effect of gas flow rate ratio of diethyl zinc and oxygen on water vapor barrier properties by PECVD

송준용 ,  정현옥 ,  김성룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

INFRARED ABSORPTION MEASUREMENT DURING LOW-TEMPERATURE PECVD OF SILICON-OXIDE FILMS

Yasushi INOUE ,  Hi ,  oyuki SUGIMURA 외 1명

한국표면공학회지

1999 .06

결정질 실리콘 태양전지의 이중 반사방지막 특성에 대한 연구

김진국 ,  박제준 ,  홍지화 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2012 .03

Study the Influence of argon flow rate, oxygen flow rate in RIE mode and bias voltage effect in PECVD mode on the barrier performances of SiOx on polymeric substrates

김원호 ,  Choudhu ,  y Moinul Haque 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

Field Effect Passivation of Plasma Oxidized SiOx Layer on P type Emitter surface by PECVD

Sooyoung Pa ,  k ,  Geyongbae Shim 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

고온 전자빔 증착에 의한 Ethylene Terephthalate상의 SiOx 박막의특성 평가

한진우 ,  김종환 ,  문대규 외 2명

전기전자재료학회논문지

2006 .01

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

전자빔증착법을 통한 SiOx 박막의 액정 배향 효과

황정연 ,  강형구 ,  김영환 외 4명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

Transparent Multi-layer Diffusion Barrier Coating on PES Substrate by Low-temperature PECVD

Sung Min Pa ,  k ,  Joung Ho Ahn 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

유도 용융법에 의한 SiOx 나노와이어 제조

김준수

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석

조유정 ,  한길진 ,  김영철

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01