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이용수
1. 서론
2. 실리콘 스트레인 게이지 제작
3. 접착
4. 결론
후기
참고문헌
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Effect of a pattern shape on the output characteristics of piezoresistive strain gauge
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
금속 외팔보에 접착된 박막 실리콘 스트레인 게이지의 제작 및 성능 평가
대한기계학회 논문집 A권
2010 .04
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
1998 .12
지능재료를 이용한 3-D MEMS의 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )
한국통신학회 기타 간행물
1998 .01
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
MEMS 기술의 소개 및 응용
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
생산기술로서의 MEMS
기계저널
2009 .03
MEMS 기술동향
전기의세계
2006 .10
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
실리콘 광 송수신 모듈 용 MEMS 광 스위치의 제작
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
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