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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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2015 .01
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2012 .01
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Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
Plasma and Reactive Ion Etching
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
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전기전자재료학회논문지
2012 .01
Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas
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2002 .01
자성 박막의 습식 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Dry Etching Characteristics of Indium Zinc Oxide Thin Films in Adaptive Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
Studies on Highly Selective Oxide Etching using C2F6-CH3F Inductively Coupled Plasma Source
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
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