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사파이어 웨이퍼의 기계-화학적인 연마 가공특성에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2004 .01
LED용 사파이어 웨이퍼 코어링 장비의 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .11
사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
LED 용 사파이어 기판의 초고압 CMP 연마에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
LED용 사파이어 웨이퍼 코어링 장비의 CAE 해석에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2012 .11
사파이어 기판의 균일 가공을 위한 압력분포에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
Dislocation densities of CMP processed sapphire wafers for GaN epitaxy
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
나노 다이아몬드 혼합 슬러리를 사용한 사파이어 웨이퍼의 연마특성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .04
통합 감시 시스템을 이용한 사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
2인치 사파이어 웨이퍼의 자기연마공정 특성평가에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
사파이어 CMP공정에서 슬러리 희석비에 따른 연마율과 표면조도 변화에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
다이아몬드 랩핑 공정에서 가압 위치 따른 사파이어 웨이퍼 표면 응력불균일도 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
CMP 가공된 사파이어웨이퍼의 웨이퍼내 표면전위에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .02
마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
LED 사파이어 웨이퍼 스크라이빙 오토머신 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
모니터링을 통한 사파이어 기판 연마에서의 마찰 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
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