사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시 시스템 개발

김철민; 김성렬; 김형재; 서정모

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저자정보: 김철민 (한국생산기술연구원) 김성렬 (한국생산기술연구원) 김형재 (한국생산기술연구원) 서정모 (한국생산기술연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(하)

발행연도: 2010.11

수록면: 695 - 696 (2page)

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2011

통합 감시 시스템을 이용한 사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시

김철민 , 서정모 , 김성렬 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료

2010

사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시 시스템 개발

김철민 , 김성렬 , 김형재 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

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김철민

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김성렬

소속기관 한국생산기술연구원

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김형재

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 129 이용수 11,487

서정모

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 10 이용수 472

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