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LED 용 사파이어 기판의 초고압 CMP 연마에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
통합 감시 시스템을 이용한 사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
사파이어 웨이퍼 기계 연마 가공 상태 감시 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
사파이어 CMP에서 염화칼륨이 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
사파이어 CMP공정에서 슬러리 희석비에 따른 연마율과 표면조도 변화에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
연마 입자 크기가 사파이어 CMP에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
사파이어 기판의 기계연마 가공에서 공정변수가 정반 형상 변화에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
LED 사파이어 기판 가공을 위한 MCP 설계 및 가공 조건 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
네트워크 기반 사파이어 가공감시 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
마찰력 모니터링 기반 지능형 CMP 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2008 .11
사파이어 평판에 충돌하는 액적의 특성맵
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .05
마찰력 측정을 통한 CMP 공정의 모니터링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
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