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수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )
대한기계학회 논문집 B권
2002 .03
TRANSPORT PHENOMENA IN A HORIZONTAL COLD-WALL CVD REACTOR
KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference
1996 .10
CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
Heat and Mass Transfer in Continuous CVD Reactors
Heat Transfer Conference
1998 .08
CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .08
Silicon / Materials , Epitaxy / CVD
대한전자공학회 단기강좌
1982 .01
Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .08
Laser CVD SiN막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
CVD 기술동향
전자공학회지
2001 .08
Purification of Si using Catalytic CVD
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2009 .11
DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd
한국표면공학회지
1996 .12
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1992 .01
Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
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