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Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
F₂/Ar과 F₂/Ar/N₂ 리모트 플라즈마 산화막 식각에 대한 NO를 첨가효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
빠른 실리콘 식각에 대한 F₂/Ar 리모트 플라즈마와 N₂와NO 첨가효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용
한국지하수토양환경학회 학술발표회
2003 .01
웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술
대한용접·접합학회지
2008 .02
반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
한국멀티미디어학회 학술발표논문집
2008 .05
Ar과 N₂첨가에 따른 디젤기관의 성능에 관한 연구
대한환경공학회지
1997 .01
NF3 60 Liter급 대용량 Remote Plasma Source용 30kW MF Generator 개발
전력전자학회 학술대회 논문집
2013 .07
의료기기 응용을 위한 리모트 플라즈마 특성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .11
$Ar^{+}$ 주입 Si 단결정의 미세구조
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거
한국재료학회지
1998 .01
리모트 플라즈마용 전원 개발
전력전자학회 학술대회 논문집
2002 .07
Ar/Ar-$H_2$ 플라즈마에 의한 Nb금속제조와 Nb금속의 수소용해
한국재료학회지
1993 .01
Ar/Ar-$H_2$ 플라즈마 및 전자선 용해에 의한 인바 및 퍼멀로이 Fe-Ni 합금의 정련
한국주조공학회지 (주조)
1995 .01
Synthesis of Poly(arylene ether amine)s through Nucleophilic Aromatic Substitution Reaction (SNAr)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2004 .04
방사형 보드를 이용한 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
한국멀티미디어학회 학술발표논문집
2009 .05
RuO$_2$ 하부전극 상에 증착된 BST박막의 $O_2$/Ar비 변호에 따른 전기적 특성 고찰
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
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