Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

F₂/Ar과 F₂/Ar/N₂ 리모트 플라즈마 산화막 식각에 대한 NO를 첨가효과

윤영배 ,  김덕진 ,  이내응 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

빠른 실리콘 식각에 대한 F₂/Ar 리모트 플라즈마와 N₂와NO 첨가효과

윤영배 ,  박성민 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

Ar과 N₂첨가에 따른 디젤기관의 성능에 관한 연구

채재우 ,  이상만 ,  정영식

대한환경공학회지

1997 .01

NF3 60 Liter급 대용량 Remote Plasma Source용 30kW MF Generator 개발

김대욱 ,  임은석 ,  이종식 외 2명

전력전자학회 학술대회 논문집

2013 .07

의료기기 응용을 위한 리모트 플라즈마 특성 평가

이대훈 ,  황나경 ,  이재옥 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

$Ar^{+}$ 주입 Si 단결정의 미세구조

이경재 ,  임영언 ,  김광일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거

이종무 ,  박웅 ,  전부용 외 5명

한국재료학회지

1998 .01

리모트 플라즈마용 전원 개발

김수석 ,  원충연 ,  최대규 외 1명

전력전자학회 학술대회 논문집

2002 .07

Ar/Ar-$H_2$ 플라즈마에 의한 Nb금속제조와 Nb금속의 수소용해

정용석 ,  홍진석 ,  김문철 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

Ar/Ar-$H_2$ 플라즈마 및 전자선 용해에 의한 인바 및 퍼멀로이 Fe-Ni 합금의 정련

박병삼 ,  백홍구

한국주조공학회지 (주조)

1995 .01

Synthesis of Poly(arylene ether amine)s through Nucleophilic Aromatic Substitution Reaction (S_NAr)

이몽섭 ,  김윤준 ,  서명은 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

방사형 보드를 이용한 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  최남석 ,  김동진 외 2명

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2009 .05

RuO$_2$ 하부전극 상에 증착된 BST박막의 $O_2$/Ar비 변호에 따른 전기적 특성 고찰

이공수 ,  원진희 ,  백수현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01