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저자정보
이정우 (동서대학교) 최남석 (동서대학교) 김동진 (동서대학교) 이병국 (동서대학교) 이준재 (계명대학교)
저널정보
한국멀티미디어학회 한국멀티미디어학회 학술발표논문집 2009년도 춘계학술발표논문집
발행연도
2009.5
수록면
40 - 43 (4page)

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본 논문에서는 컴퓨터 비젼을 이용하여 웨이퍼 위치 에라를 측정하는 방법을 제시한다. 웨이퍼란 반도체를 생산하는 과정에 필요한 재료중의 하나이다. 반도체 제작 과정 중 화학 약품 처리로 인한 웨이퍼 세척과정이 필요하다. 이 때 웨이퍼가 클리닝 시스템 속에서 정 위치에 놓여지지 않는 경우가 발생 한다. 이러한 경우가 발생하면 웨이퍼가 파손 되거나 클리닝 시스템 고장의 원인이 된다. 이러한 사고를 미연에 방지 하기 위하여 컴퓨터 비젼 및 방사형 보드를 이용한 켈리브레이션 기술을 이용하여 실시간으로 웨이퍼의 위치를 파악하는 프로그램을 만들고자 한다.

목차

요약
1. 서론
2. 시스템의 구성
3. 방사형 보드를 이용한 켈리브레이션
4. 영상 처리릍 통한 웨이퍼 중심점 추출
5. 실험 결과 및 향후 계획
참고문헌

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