Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

A Non-Contact Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers with Absorption Edge Wavelength

Toh ,  u Iuchi ,  Ryo Shinagawa

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2008 .10

Temperature Measurement of Silicon Wafers by Transmissivity Sensing

Ryo Shinagawa ,  Tomoyuki Iwasaki ,  Toh 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Temperature Monitoring of Silicon Wafer Surface Exposed to Plasma Discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Micro-scale Thermal Sensor Manufacturing and Verification for Measurement of Temperature on Wafer Surface

Kim ,  JunYoung ,  Jang 외 5명

반도체디스플레이기술학회지

2013 .01

COMPUTER SIMULATION STUDY ON APCVD PROCESS FOR AMORPHOUS SiC THIN FILM ON THE SILICON WAFER

Joon Ho Koh ,  Seong Ihl Woo

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Non-contact Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers

Yoshikazu Ikeda ,  Toh ,  u Iuchi

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

A Study on the Characteristics of a Wafer-Polishing Process according to Machining Conditions

Jung-Taik Lee ,  Jong-Koo Won ,  Eun-Sang Lee

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2009 .01

An Emissivity-Invariant Condition of Silicon Wafers and Its Application to Radiation Thermometry

Toh ,  u Iuchi ,  Atsushi Gogami

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2009 .08

Bipolar Silicon Wafer Processing

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Effect of Surface Conditions of Single Crystalline Silicon Wafer on the Fracture Behavior

S. M. Lee ,  Y. K. Min ,  T. K. Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Stability of an Amorphous Silicon Oscillator

Byung Seong Bae ,  Jae-Won Choi ,  Se-Hwan Kim 외 2명

[ETRI] ETRI Journal

2006 .02

12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 가공 특성에 관한 연구

최웅걸 ,  김성현 ,  최승건 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2012 .06

Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

이진 결정 다이어그램의 최적화를 위한 Variable Reordering 알고리즘의 가속화 ( The Acceleration of Variable Reordering Algorithm for the Optimization of Binary Decision Diagrams )

송문배 ,  장훈

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

이진 결정 다이어그램의 최적화를 위한 variable reordering 알고리즘의 가속화

송문배 ,  장훈

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing

Choi ,  Yoon-Kweon ,  Choi 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

P-Channel Amorphous-Silicon Thin-Film Transistors

K. S. Choi ,  M. Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01