레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구

신상우 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

광 CVD공정의 산화막 퇴적기구 모델링에 관한 연구

신상우 ,  김영훈 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성 ( Formation characteristics of selective area deposited insulating films by Laser CVD )

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

ECR CVD를 이용한 SiO2 박막 특성에 관한 연구 ( A Study on The Electrical Characteristics of SiO2 Prepared By ECR CVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 SiO₂ 박막 특성에 관한 연구

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method

成英權 ,  許允宗 ,  金鍾寬 외 2명

전기학회논문지

1993 .09