Anisotropic Etching of Tungsten with ICP System

정창영; 송기창; 전영삼; 이돈희; 안진호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정창영 송기창 전영삼 이돈희 안진호

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제4권

발행연도: 1997.1

수록면: 317 - 318 (2page)

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송기창

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전영삼

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이돈희

소속기관 대한전자공학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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안진호

소속기관 호서대학교

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