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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 종합 학술 대회 논문집 (하계) 2000, Vol.2 : 반도체 그룹 Vol.23 No.1
발행연도
2000.6
수록면
318 - 321 (4page)

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2001

W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2001.07 학술저널

2000

TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료
W-TiN 금속 게이트를 사용한 금속-산화막-반도체 소자의 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 대한전자공학회 학술대회 2000.06 학술대회자료
W / TiN 금속 게이트 MOS소자의 물리ㆍ전기적 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  노용한 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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고온 전력반도체 접합용 Nickel-Tin Paste 제조 및 공정에 대한 연구
정소은 ,  정승부 ,  윤정원 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 2019 .11
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졸겔법을 이용한 산화물 막의 도핑 및 그들의 전기화학 반응속도 촉진 연구
배주원 ,  구본율 ,  김규호 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 .02
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
김재범 ,  홍현석 ,  오기영 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2002 .09
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1998 .01

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