화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰

장원익 ,  유형준

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .12

갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐 박막의 특성연구 ( Properties of Tungsten Films Grown on GaAs by PECVD )

홍종성 ,  김용태 ,  박승철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

사일린 환원반응에 의한 텅스텐 박막의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten by Silane Reduction )

황성보 ,  최경근 ,  이시우

전자공학회논문지

1990 .10

플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

스퍼터법으로 증착된 몰리브데늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

국내 텅스텐 대면재료 연구개발 현황

장창희 ,  한흥남 ,  김형찬

기계저널

2019 .07

Evaporation 법으로 유기막 위에 증착된 ITO 박막의 특성

배정운 ,  김형종 ,  김정식 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

습식전해증착을 통한 니켈-텅스텐 다층박막의 형성 및 특성 분석

이상현 ,  박수빈 ,  유봉영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

플라즈마 화학 증착 텅스텐 박막의 특성에 미치는 수소분압의 영향 ( Effects of H2 / WF6 Input Ratio on the Properties of PECVD-W Thin Films )

홍종성 ,  김용태 ,  민석기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

전기증착법으로 제조된 텅스텐 산화물 박막의 광촉매 특성

강광모 ,  정지혜 ,  이가인 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

무정형 탄소층 위에 증착된 다이아몬드 박막 연구

김영주 ,  한석윤 ,  이영식 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .05

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

GaAs위에 증착된 텅스텐의 열처리 특성 ( Effects of Annealing on the Characteristics of Tungsten Deposited on GaAs )

이창석 ,  이종람 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01

GaAs위에 증착된 텅스텐의 열처리 특성 ( Effects of Annealing on the Characteristics of Tungsten Deposited on GaAs )

이창석 ,  이종람 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

다양한 기판 위에 증착된 금 박막으로부터의 나노입자 형성 거동 연구

이승환 ,  정구환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05