Growth of AlN crystals by the sublimation process

강승민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강승민

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제18권 제2호

발행연도: 2008.1

수록면: 68 - 71 (4page)

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AlN crystals were grown by the sublimation process. As grown AlN crystals were the polycrystalline boule in the form of the agglomerate of small AlN single crystalline AlN. As-grown AlN boule has a length about 2~3 mm long and a diameter of 1 inch. The carbon impurities were observed on the surface and inside of the grown AlN crystals and the growth behavior was investigated by optical microscopy and SEM observation.

#AIN #Growth #Single crystal #Sublimation process #Substrate

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B. Liu / 2004 / The durability of various crucible materials for aluminum nitride crystal growth by sublimation / MRS Internet J. Nitride Semicond. Res 9 : 6 ~

B.M. Epelbaum / 2004 / Characterization of bulk AlN with low oxygen content / J. of Crystal Growth 265 : 577 ~

G.A. Slack / 1976 / Growth of high purity AlN crystals / J. of Crystal Growth 34 : 263 ~

G.A. Slack / 1977 / AlN single crystals / J. of Crystal Growth 42 : 560 ~

M. Bickermann / 2003 / PVT growth of bulk AlN crystals with low oxygen contamination / Phys. Stat. Sol : 1993 ~

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