지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.7 No.1
- 발행연도
- 2003.6
- 수록면
- 23 - 26 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
In this study, a neutral beam was formed using a low angle forward reflection of the ion beam and its degree of neutralization at different reflection angles was investigated. When the ion beam was reflected by a reflector at the angles lower than 15°, most of the ions reflected were neutralized and the lower reflector angle showed the higher degree of neutralization. Photoresist(PR) and SiO₂ etchings were carried out with the neutralized oxygen and fluorine radical fluxes, respectively, and highly anisotropic etch profiles could be obtained suggesting the formation of highly directional neutral flux.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experiment
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Acknowledgments
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
-
나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
-
Low-angle forward-reflected neutral beam을 이용한 표면처리 효과 및 절연특성 향상 방안 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
-
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
-
Simulation of neutral beam etching for material processing
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
-
Development of high-power RF ion source for neutral beam injectors
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Discharge Characteristics of Large-Area High-Power RF Ion Source for Neutral Beam Injector on Fusion Devices
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
Influence of Neutral Particle Beam Energy on the Structural Properties of Amorphous Carbon Films Prepared by Neutral Particle Beam Assisted Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
-
Experimental Results of New Ion Source for Performance Test
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
-
Neutral Beam Splitter의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
-
Development of RF Ion Source for Neutral Beam Injector in Fusion Devices
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
-
Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar+ Ion beam process
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
-
The effect of Ion Beam modification of Polyimide surface on alignment properties of liquid crystals
Applied Science and Convergence Technology
2003 .10
-
Focused ion beam technology and applications.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
-
Atomic-Layer Etching of High-k Dielectric Al2O3 with Precise Depth Control and Low-Damage using BCl3 and Ar Neutral Beam
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
-
Effect of F-based Neutral beam treatment on Al₂O₃ Gate Dielectrics
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001258865