Low-angle forward-reflected neutral beam을 이용한 표면처리 효과 및 절연특성 향상 방안 연구

김성우 ,  박병재 ,  강세구 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성

박병재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

FM / Si / Fm device on silicon on insulator (SOI) wafer

W.Y.Kim ,  Joonyeon Chang ,  Hyunjung Yi 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .12

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에 관한 연구

이도행 ,  배정운 ,  박상덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Simulation of neutral beam etching for material processing

T.R.Chung ,  S.J.Kim ,  H.S.Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과

정민재 ,  이도행 ,  배정운 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

SOI 구조의 C - V 특성 분석

배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition

HyunWook So ,  DongHyeok Lee ,  JinNyoung Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Formation of Neutral Beam by Low Angle Reflection

Do-Haing Lee ,  Min-Jae Jung ,  Jung-Woon Bae 외 3명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .06

Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거

민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구

정민재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

임웅선 ,  강세구 ,  오종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Ion - cut에 의한 SOI웨이퍼 제조 및 특성조사

우형주 ,  최한우 ,  배영호 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2005 .06

Effect of microwave times on the interface properties between top silicon layer and buried oxide layer in SOI substrate

권기혁 ,  김동현 ,  공원교 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

PS-b-PMMA block copolymer etching using neutral beam

Jinwoo PARK ,  Kihyun KIM ,  Deokhyun YUN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Dry Etching에 의해 제작된 실리콘 미세 구조물

홍석민 ,  임창덕 ,  조정희 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

Reduction of surface roughness during high speed thinning of silicon wafer

W. Heo ,  J. H. Ahn ,  N.-E. Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02