Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거

민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Low-angle forward-reflected neutral beam을 이용한 표면처리 효과 및 절연특성 향상 방안 연구

김성우 ,  박병재 ,  강세구 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에 관한 연구

이도행 ,  배정운 ,  박상덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

무손상 식각을 위한 Low energy high flux 중성빔의 형성에 관한 연구

이준희 ,  이도행 ,  황현기 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구

민태홍 ,  박병재 ,  김이연 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Formation of Neutral Beam by Low Angle Reflection

Do-Haing Lee ,  Min-Jae Jung ,  Jung-Woon Bae 외 3명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .06

Simulation of neutral beam etching for material processing

T.R.Chung ,  S.J.Kim ,  H.S.Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과

정민재 ,  이도행 ,  배정운 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구

정민재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition

HyunWook So ,  DongHyeok Lee ,  JinNyoung Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 Aspect Ratio Dependent Etching 현상의 제거

민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .07

PS-b-PMMA block copolymer etching using neutral beam

Jinwoo PARK ,  Kihyun KIM ,  Deokhyun YUN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

낮은 에너지의 Ar 중성빔을 이용한 silicon의 atomic layer etching

오창권 ,  박상덕 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Atomic-Layer Etching of High-k Dielectric Al2O3 with Precise Depth Control and Low-Damage using BCl3 and Ar Neutral Beam

김찬규 ,  민경석 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰

김성우 ,  박병재 ,  민경석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Influence of Neutral Particle Beam Energy on the Structural Properties of Amorphous Carbon Films Prepared by Neutral Particle Beam Assisted Sputtering

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

ETCHING CHARACTERISTICS OF MAGNETIC THIN FILMS BY ION BEAM TECHNIQUE

H. C. Lee ,  S. D. Kim ,  S. H. Lim 외 3명

한국자기학회지

1995 .10

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

임웅선 ,  강세구 ,  오종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Effects of High Neutral Beam Energy on the Properties of Amorphous Carbon Films

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02