나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에 관한 연구

이도행 ,  배정운 ,  박상덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성

박병재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과

정민재 ,  이도행 ,  배정운 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구

민태홍 ,  박병재 ,  김이연 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구

정민재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Formation of Neutral Beam by Low Angle Reflection

Do-Haing Lee ,  Min-Jae Jung ,  Jung-Woon Bae 외 3명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .06

Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition

HyunWook So ,  DongHyeok Lee ,  JinNyoung Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Neutral Beam Splitter의 특성 연구

조현주 ,  조국산 ,  황보 창권

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Influence of Neutral Particle Beam Energy on the Structural Properties of Amorphous Carbon Films Prepared by Neutral Particle Beam Assisted Sputtering

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Simulation of neutral beam etching for material processing

T.R.Chung ,  S.J.Kim ,  H.S.Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거

민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

면적요소를 고려한 요철구조를 가진 전면절연층 계면전하 측정

심명섭 ,  정수정 ,  강동균 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effect of F-based Neutral beam treatment on Al₂O₃ Gate Dielectrics

김성우 ,  박병재 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Effects of High Neutral Beam Energy on the Properties of Amorphous Carbon Films

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

임웅선 ,  강세구 ,  오종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

사용 환경조건에 따른 Epoxy / Glass Fiber 복합재료의 표면특성

임경범 ,  이백수 ,  김형권 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Atomic-Layer Etching of High-k Dielectric Al2O3 with Precise Depth Control and Low-Damage using BCl3 and Ar Neutral Beam

김찬규 ,  민경석 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Discharge Characteristics of Large-Area High-Power RF Ion Source for Neutral Beam Injector on Fusion Devices

Doo-Hee Chang ,  Min Pa ,  k 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Development of high-power RF ion source for neutral beam injectors

Doo-Hee CHANG ,  Min PARK ,  Bong-Ki JUNG 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Performance of Beam Extractions for the KSTAR Neutral Beam Injector

D. H. Chang ,  S. H. Jeong ,  T. S. Kim 외 13명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02