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이용수
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Accurate SIMS Depth Profiling of Ultra Shallow Phosphorus & Arsenic by Oxygen Flooding
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Oxygen flooding을 이용한 shallow junction SIMS 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Conversion from SIMS depth profiling to compositional depth profiling of multi-layer films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
TOF-SIMS Depth profile의 Sputtering rate를 통한 재질 연구
한국분석과학회 학술대회
2008 .11
Depth profile 측정 시에 영향을 주는 Sputtering rate에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Decision of Interface and Depth Scale Calibration of Multilayer Films by SIMS Depth Profiling
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Depth Profiling에서 Sputtering Rate의 영향
Applied Science and Convergence Technology
2003 .09
A Study on Impurity Depth Profile by Secondary Ion Mass Spectrometer
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Ta₂O5 / SiO₂ Multilayered Thin Film on Si as a New Reference Material for SIMS Depth Profiling
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Magnetic Sector SIMS의 Sample Holder위치에 따르는 RSF (Relative Sensitivity Factor) 변화 검증
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
비휘발성 기억소자를 위한 NO / N₂O 질화산화막과 재산화 질화산화막의 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .10
Oxygen Ion Beam Induced Abnormal Topographic Development at the Ta / Si Interface Studied by SIMS, XPS, and AFM
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
Compositional SIMS Depth Profiling of CIGS film
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Determination of Layer Thickness of A/B Type Multilayer Films in SIMS Depth Profiling Analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
TOF-SIMS의 Depth Profiling을 이용한 금속의 정량분석
한국분석과학회 학술대회
2009 .05
Calibration of SIMS Depth Scale using a B-doped Si Multiple Delta-Layer CRM
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
EPW 용액에서의 실리콘 양극 산화막 형성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1993 .06
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