지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.5
- 수록면
- 206 - 210 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Al 도핑된 ZnO 박막을 Ar 유량에 따라 증착하고 박막의 다양한 특성을 연구하였다. ZnO 박막의 Ar 유량 변화를 통해 고품질 박막을 증착할 수 있었고 Al 도핑된 ZnO 박막에 대한 Ar 유량의 영향을 확인하였다. 모든 Al 도핑된 ZnO에서 80% 이상의 좋은 투과도를 보였다. Hall 측정과 X-ray photoelectron spectrometer 측정 결과, 비저항이 가장 작은 60 sccm에서 가장 작은 Al 도핑 농도를 보였다. Ar 유량에 따른 Al 도핑된 ZnO 박막에서의 전기적인 특성은 Al 도핑 농도보다 산소 공공에 의해 더 영향을 받음을 확인하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - K. Tonooka / 2003 / / Thin Solid Films 445 : 327 ~
2. [학술지(정기간행물)] - G. K. R. Senadeera / 2003 / / Appl. Phys. Lett. 83 : 5470 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 조신호 / 2009 / 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과 / 한국진공학회지 18 (5) : 377 ~ 383
4. [학술지(정기간행물)] - 이지수 / 2008 / RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리 기판 위에 성장 시킨 Ga 도핑된 ZnO 박막의 열처리에 따른 구조적, 광학적 특성 평가 / 한국진공학회지 17 (1) : 23 ~ 27
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lorenz / 2003 / / Solid-State Electron 47 : 2205 ~
2. [학술지(정기간행물)] - G. K. R. Senadeera / 2003 / / Appl. Phys. Lett. 83 : 5470 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 조신호 / 2009 / 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과 / 한국진공학회지 18 (5) : 377 ~ 383
4. [학술지(정기간행물)] - 이지수 / 2008 / RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리 기판 위에 성장 시킨 Ga 도핑된 ZnO 박막의 열처리에 따른 구조적, 광학적 특성 평가 / 한국진공학회지 17 (1) : 23 ~ 27
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lorenz / 2003 / / Solid-State Electron 47 : 2205 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
A Study on Properties of RF-sputtered Al-doped ZnO Thin Films Prepared with Different Ar Gas Flow Rates
Applied Science and Convergence Technology
2016 .11
-
ZnO : Al 투명전도막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
Electrical Properties of the Transparent Conducting Oxide Layers of Al-doped ZnO and WO₃ Prepared by rf Sputtering Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
The Electrical and Optical properties of Al-doped ZnO with high density O2 Plasma treatment on PES substrate
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2013 .01
-
Power 및 temperature에 의한 증착률 변화와 Al-doped ZnO의 특성변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
-
원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .09
-
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2013 .05
-
Electrical and optical properties of Al-doped ZnO films by UV treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
Al-doped ZnO thin film process optimization on glass with RF magnetron sputtering method
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
-
Enhancement of Crystallinity in ZnO:Al Films Using a Two-Step Process Involving the Control of the Oxygen Pressure
Applied Science and Convergence Technology
2010 .03
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 Ga-doped ZnO 박막의 공정압력에 따른 전기적, 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2012 .01
-
The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
투명전극용 Al - doped ZnO film의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
산소 유량비 변화에 따른 Al 도핑된 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2007 .07
-
RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 ZnO:Al 박막의 초기 압력에 따른 특성
Applied Science and Convergence Technology
2011 .03
-
Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001272607