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저자정보
Bae, Kang (Dept. of Electronics & Display, Catholic University of Daegu) Ryu, Sung-Won (Dept. of Electronics & Display, Catholic University of Daegu) Hong, Jae-Suk (330 CTC Co.) Park, Jeong-Sik (Dept. of Electronics & Display, Catholic University of Daegu) Park, Seoung-Hwan (Dept. of Electronics & Display, Catholic University of Daegu) Kim, Hwa-Min (Dept. of Electronics & Display, Catholic University of Daegu)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,437 - 1,439 (3page)

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Electrical and optical properties of $SiO_2$-doped ZnO (SZO) films on the corning 7059 glass substrates by using rfmagnetron sputtering method are investigated. The deposition rate becomes maximum near 3 wt.% and gradually decreases when the $SiO_2$ content further increases. The growth rates at 3 wt.% is $4^{\circ}$A/s. We found that the average transmittance of all films is over 80% in the wavelength range above 500 nm. The optical band gap decreases from 3.52 to 3.33 eV with an increase in thickness. X-ray diffraction patterns show that the film with a relatively low $SiO_2$ content (< 4 wt.%) is amorphous. SZO films at the $SiO_2$ contents of 2 wt.% shows the resistivity of about $3.8{\times}10^{-3}{\cdot}cm$. The sheet resistance decreases with increasing the heat treatment temperature.
#TCO film #SZO films #rf-magnetron sputtering #resistivity

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