지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.1
- 수록면
- 65 - 66 (2page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Various fluoride films on a glass substrate were prepared and characterized to provide a seed layer for crystalline Si film growth. The XRD analysis on $CaF_2/glass$ illustrated (220) preferential orientation and showed lattice mismatch less than 5 % with Si. We achieved a fluoride film with breakdown electric field of 1.27 MV/cm, leakage current density about $10^{-6}$ $A/cm^2$, and relative dielectric constant less than 5.6. This paper demonstrates microcrystalline silicon $({\mu}c-Si)$ film growth by using a $CaF_2/glass$ substrate. The ${\mu}c-Si$ films exhibited crystallization in (111) and (220) planes, grain size of $700\;{\AA}$, crystalline volume fraction over 65 %, dark- and photo-conductivity ratio of 124, activation energy of 0.49 eV, and dark conductivity less than $4{\times}10^{-7}$ S/cm.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Microcrystalline Silicon Film Growth on a Fluoride Film Coated Glass Substrate
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
-
유리 기판을 이용한 비정질 실라콘 박막의 결정화
한국레이저가공학회지
2010 .01
-
Effects of Si cluster incorporation on properties of microcrystalline silicon thin films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
-
Glass/Al/Al₂O₃/a-Si 구조의 알루미늄유도 결정화에서 산화막 두께 변화가 실리콘 결정립에 미치는 영향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2010 .04
-
Bottom Gate Microcrystalline Silicon TFT Fabricated on Plasma Treated Silicon Nitride
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2008 .01
-
Electrical Properties of Boron and Phosphorus Doped μc-Si:H Films using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition Method for Solar Cell Applications
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
-
비정질/마이크로 탠덤 구조형 실리콘 박막 태양전지
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2006 .06
-
Low-temperature Epitaxial Growth of a Uniform Polycrystalline Si Film with Large Grains on SiO2 Substrate by Al-assisted Crystal Growth
Current Photovoltaic Research
2013 .12
-
다결정 박막 실리콘 태양전지를 위한 이종 기판 위의 seed layer 제작에 관한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2000 .06
-
Epitaxial Growth of Boron-doped Si Film using a Thin Large-grained Si Seed Layer for Thin-film Si Solar Cells
Current Photovoltaic Research
2014 .03
-
SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF NEW HIGH DIELECTRIC (BA$_{0.65}$SR$_{0.35}$)(TI$_{0.65}$ZR$_{0.35}$)O$_3$ FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
EBE growth and properties of CuInS2 thin film
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
1993 .08
-
Wafer Size Effect in Chemical Mechanical Polishing (CMP) of Silicon Dioxide (SiO2) Film
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
-
박막트렌지스터 응용을 위한 μc-Si/CaF₂/glass 구조특성연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
-
역 알루미늄 유도 결정화 공정을 이용한 실리콘 태양전지 다결정 시드층 생성
한국재료학회지
2012 .01
-
The Growth Mechanism of 3C-SiC ( 111 ) Thin Film on si ( 111 ) Substrate
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
-
Low temperature plasma deposition of microcrystalline silicon films for bottom gate thin film transistors
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
PROPERTIES OF PHOSPHORUS-DOPED ${\mu}c-Si$ THIN FILMS BY PECVD
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
-
Performance Analysis of Si-Based Thin Film Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2004 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0