Microcrystalline Silicon Film Growth on a Fluoride Film Coated Glass Substrate

Kim, Do-Young; Park, Joong-Hyun; Ahn, Byung-Jae; Yoo, Jin-Su; Yi, Jun-Sin

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저자정보: Kim, Do-Young (New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) Park, Joong-Hyun (New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) Ahn, Byung-Jae (New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) Yoo, Jin-Su (New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) Yi, Jun-Sin (New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display

발행연도: 2002.1

수록면: 526 - 529 (4page)

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Various fluoride films on a glass substrate were prepared and characterized in order to determine the best seed layer for a microcrystalline silicon (${\mu}c$-Si) film growth. Among the various group-IIA-fluoride systems, the $CaF_2$films on glass substrates illustrated (220) preferential orientation and a lattice mismatch of less than 0.7% with Si. $CaF_2$ films exhibited a dielectric constant between $4.1{\sim}5.2$ and an interface trap density ($D_{it}$ as low as $1.8{\times}10^{11}\;cm^{-2}eV^1$. Using the $CaF_2$/glass structure, we were able to achieve an improved ${\mu}c$-Si film at a process temperature of 300 $^{\circ}C$. We have achieved the ${\mu}c$-Si films with a crystalline volume fraction of 65%, a grain size of 700 ${\AA}$, and an activation energy of 0.49 eV.

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Kim, Do-Young

소속기관 Samsung Advanced Institute of Technology

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 17 이용수 2

Park, Joong-Hyun

소속기관 New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 0

Ahn, Byung-Jae

소속기관 New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Yoo, Jin-Su

소속기관 New material Lab., School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

Yi, Jun-Sin

소속기관 School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 23 이용수 3

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