Preparation of Nano Sized Indium Tin Oxide (ITO) Powder with Average Particle Size Below 30 nm from Waste ITO Target by Spray Pyrolysis Process

김동희; 유재근

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김동희 (단국대학교 의과대학) 유재근 ([주]나노랜드)

저널정보: 한국자원리싸이클링학회 자원리싸이클링 자원리싸이클링 제27권 제2호

발행연도: 2018.1

수록면: 24 - 31 (8page)

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본 연구에서는 폐 ITO 타겟을 염산에 용해시킴으로써 인듐-주석 복합 산 용액을 제조하여 원료용액으로 사용하였다. 이 원료용액으로부터 분무열분해 공정에 의하여 평균입도 30 nm 이하의 ITO 분체를 제조하였다. 또한 본 연구에서는 인듐-주석 산화물(ITO) 형성을 위한 열역학적 수식들을 확립하였다. 반응온도가 $800^{\circ}C$로부터 $900^{\circ}C$로 증가됨에 따라 평균입도 30 nm 이하인 나노입자들이 응집되어 있는 액적 형태의 비율 및 크기는 감소하는 반면 표면 조직은 더욱 치밀해짐을 알 수 있었다. 반응온도가 $800^{\circ}C$인 경우에는 생성된 분체의 평균입도는 약 20 nm이었으며, 현저한 소결 현상은 나타나지 않았다. 한편, 반응온도가 $900^{\circ}C$인 경우에는 노즐에 의하여 미립화되는 액적의 분열 현상은 $800^{\circ}C$의 경우보다 심하게 나타났으며 액적 형태의 비율은 현저하게 감소하였다. 형성된 입자들의 평균 입도는 약 25 nm로서 $800^{\circ}C$의 경우보다 약간 증가하였다. 반응온도에 관계없이 ITO 입자들은 단결정으로 구성되어 있었다. XRD 분석 결과 분무열분해 공정에 의하여 염화물 상은 전혀 존재하지 않았으며 오직 ITO 상만이 형성되었음을 알 수 있었다. 반응온도가 $800^{\circ}C$로부터 $900^{\circ}C$로 증가함에 따라 비표면적은 약 30% 감소하였다.

#폐 ITO 타겟 #인듐-주석 복합 산 용액 #나노 ITO 분체 #분무열분해 #평균입도

참고문헌 (12)

참고문헌 신청

김동희 / 2016 / Effect of Inflow Rate of Raw Material Solution on the Fabrication of Nano-Sized Cobalt Oxide Powder by Spray Pyrolysis Process / 한국재료학회지 26(11):662~669

J. K. Yu. / 2013 / The Preparation of Nano Size Nickel Oxide Powder by Spray Pyrolysis / Powder Technology 235:1030~1037

김동희 / 2017 / Effect of Ambient Air Pressure on the Preparation of Cobalt Oxide Powder with Average Particle Size below 50 nm by Spray Pyrolysis Process / 자원리싸이클링 26(1):22~29

J. K. Yu. / 2009 / Influences of Reaction Factors on the Nano-Sized Tin Oxide Powder by Spray Pyrolysis Process / Journal of the Ceramic Society of Japan 117:1078~1084

J. K. Yu / 2007 / Fabrication of Nano-Sized ITO Powder from Waste ITO Target by Spray Pyrolysis Pro- cess / Materials Transactions 48:249~257

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