비간섭화 제어이론기반 정밀작업용 테이블의 진동억제시스템 구축에 관한 연구

박환철; 김영복; 정지현

doi:10.9726/kspse.2021.25.3.062

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박환철 (부경대학교) 김영복 (부경대학교) 정지현 (제주대학교)

저널정보: 한국동력기계공학회 동력시스템공학회지 동력시스템공학회지 제25권 제3호

발행연도: 2021.6

수록면: 62 - 71 (10page)

DOI: 10.9726/kspse.2021.25.3.062

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This paper presents a novel method for designing a active vibration isolation system (AVIS) by noninteracting control theory. In the result, the designed system can effectively reject the impact of disturbances on high precision fabrication table. In particular, the authors provide a noninteracting control scheme to decrease and delete the interactions appeared in the controlled system dynamics such that the control performance can be improved. For designing an optimal servo system, the LMI (linear matrix inequality) approach is introduced. To verify the effectiveness of the proposed method, a simulation is performed. In the result, the vibration suppression performance is significantly improved, thereby enabling higher precision works.

#Active vibration isolation system #Noninteracting control theory #High precision #Disturbance #LMI

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길형균 / 2010 / VCM을 이용한 6자유도 능동형 제진시스템 개발 / 한국소음진동공학회논문집 20(7):637~643

Md. Emdadul HOQUE / 2011 / Application of Feedforward Control to A Vibration Isolation System Using Negative Stiffness Suspension / Journal of System Design and Dynamics 5(5):777~788

Yun-Ho Shin / 2009 / Performance enhancement of pneumatic vibration isolation tables in low frequency range by time delay control / Journal of Sound and Vibration 321(3-5):537~553

Yun-Ho Shin / 2010 / Three Degrees of Freedom Active Control of Pneumatic Vibration Isolation Table by Pneumatic and Time Delay Control Technique / Journal of Vibration and Acoustics 132(5)

H. Yoshioka / 2001 / An Active Microvibration Isolation System for Hi-tech Manufacturing Facilities / Journal of Vibration and Acoustics 123(2):269~275

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