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김은규 (연세대학교) 송원택 (연세대학교) 권윤식 (연세대학교) 김재현 (연세대학교) 윤형민 (연세대학교) 이효건 (연세대학교) 윤준영 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
201 - 201 (1page)

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고정밀 측정 및 검사 시스템 등에 적용되기 위한 정밀 이송 스테이지는 높은 방진 성능이 요구됨에 따라 진동 발생요소를 최소화하는 것이 중요하다. 모터의 기계적 및 전자기적 특성으로 발생하는 구동력 리플(Force Ripple) 등으로 인해 스테이지 이송 간 발생하는 진동 이외에도, 정지 상태에서 발생 가능한 진동 또한 주요하게 고려되어야 한다. 이송 스테이지의 구동 및 위치 제어는 증분식 엔코더를 통해 얻은 이산화 된 위치 신호를 주로 사용한다. 이러한 이산화 된 위치 신호는 모터의 위치 제어 루프와 결합하여 정지상태의 모터에서도 진동을 유발할 수 있다. 본 연구에서는 정지상태의 모터에서 엔코더의 이산화 신호로 인해 진동이 발생하는 메커니즘을 ... 전체 초록 보기
#Quantization #Encoder quantization #Motor vibration #Stationary state motor vibration #High-precision stage

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