ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구

박원희 ,  신정우 ,  양병찬 외 3명

마이크로전자 및 패키징학회지

2016 .01

Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성

이백주 ,  천민호 ,  이규범 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2022 .06

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

무결함 SiO₂ Gap-Filling을 위한 바이어스 펄싱 플라즈마와 VHF 소스 플라즈마의 영향

정선재 ,  김호곤 ,  김근휘 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬 ,  안지환 ,  신정우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향

민관홍 ,  최성진 ,  정명상 외 5명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

SiO₂ 선택적 증착을 위한 소재 및 공정 연구

배건우 ,  이상걸 ,  윤장희

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상

박용섭 ,  김남훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

2세대 해양 VHF 모뎀의 동기부 최적화 방안

최주형 ,  조용수

한국통신학회 학술대회논문집

2015 .01

Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte

지상훈

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2019 .05

ALD enabled synthesis of nanostructures and nanomaterials materials

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

ALD로 증착한 SnO₂ 박막의 특성 분석 및 페로브스카이트 태양전지에 적용

박종호 ,  김다연 ,  박성준 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

ALD를 이용한 연료전지 내 carbon corrosion을 억제하는 고내구성 지지체의 제조방법

심정우 ,  심준형

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2022 .11

N₂ 분위기와 forming gas 분위기의 열처리가 원자층증착법으로 성장한 TiO₂ 박막의 특성변화에 미치는 효과

조영준 ,  장효식

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

차세대 메모리 디바이스Gap-Fill 공정 위한 공간 분할 PE-ALD개발 및 공정 설계

이백주 ,  황재순 ,  서동원 외 1명

한국표면공학회지

2020 .06

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2016 .08