레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구

신상우 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film

Jeong-MyeonSong ,  Yung-KwonSung ,  Byung-MooMoon

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01

직접 광영기 Photo-CVD에 의한 이산화실리콘 박막의 증착특성 ( Photo-Induced Chemical Vapor Deposition of SiO2Thin Film by Direct Excitation Process )

김윤태 ,  전치훈 ,  정기로 외 3명

전자공학회논문지

1989 .07

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작

최원국 ,  정광호 ,  김웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS

Falcony ,  C. ,  O 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Laser CVD에 의한 SiO₂막의 형성과 제특성

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

다결정 박막실리콘 태양전지의 연구개발 동향

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1997 .11

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

A Study on the C-V Voltage Shift of SiO2 Films Prepared By ECR CVD

이현 ,  윤석규 ,  강문상 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01