CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작

최원국; 정광호; 김웅

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최원국 정광호 김웅

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1989年度秋季綜合學術大會論文集

발행연도: 1989.11

수록면: 662 - 666 (5page)

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