Ne 중성빔을 이용한 InP의 원자층 식각에 관한 연구

박상덕; 임웅선; 배정운; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박상덕 임웅선 배정운 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 84 - 84 (1page)

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박상덕

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 7 이용수 331

임웅선

소속기관 성균 나노과학 기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 7 이용수 135

배정운

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 35 이용수 1,039

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,955

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-016964892

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대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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