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중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
중성빔 식각장치를 이용한 극미세 Si 패턴의 저손상 식각방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Ar 중성빔을 이용한 ZrO₂ 원자 층 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Ne 중성빔을 이용한 InP의 원자층 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Ar 중성빔을 이용한 HfO₂ 원자 층 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
중성빔 식각을 이용한 Metal Gate/High-k Dielectric CMOSFETs의 저 손상 식각공정 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면의 잔류층 및 손상층에 관한 연구 (Ⅰ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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