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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
402 - 405 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2009

집속 렌즈의 초점 거리 변화에 대한 프르브 전류 분석
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
임선종 ,  이찬홍 한국레이저가공학회지 2009.01 학술저널

2008

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료
주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프로브 전류의 차단
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2008.10 학술저널
주사 전자 현미경에서 빔 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
주사 전자현미경에서 프르브 전류의 측정
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Measurement of probe current is used to align the column and to check proper current for image. The data is compared with data of other system and could be standard data for developing the system. In the measurement for aligning the column, scanning control signal is only utilized. The current for image is changed by aperture size. Faraday cup is one of tools for doing this and is used in this paper. It is composed of mesh and a cup to be connected to signal line. The current is measured by a pico-amperemeter.

목차

Abstract
1. 서론
2. 전자빔 전류의 측정 방법
3. 측정 결과
4. 결론
참고문헌

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