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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 575 - 579 (5page)
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Al-doped p-type ZnO films were fabricated on n-Si (100) and homo-buffer layers in pure oxygen at 450 ℃ by RF magnetron sputtering. Target was ZnO ceramic mixed with 2 wt% Al₂O₃. XRD spectra show that the Al-doped ZnO thin films have ZnO crystal structure and homo-buffer layers are beneficial to Al-doped ZnO films to grow along c-axis. Hall Effect experiments with Van der Pauw configuration show that p-type carrier concentrations are ranged from 1.66x1016 to 4.04x1018 cm-3, mobilities from 0.194 to 2.3 ㎠V-1s-1 and resistivities from 7.97 to 18.4 Ωcm. P-type sample has density of 5.40 cm-3 which is smaller than theoretically calculated value of 5.67 cm-3. XPS spectra show that O1s has O-O and Zn-O structures and Al2p has only Al-O structure. P-ZnO:Al/n-ZnO:Al junctions were fabricated by magnetron sputtering. V-I curves show that the p-n junctions have rectifying characteristics.
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A. Tsukazaki / 2005 / Repeated temperature modulation epitaxy for p-type doping and light-emitting diode based on ZnO / Nat. Mater 4 (1) : 42 ~
B. Yao / 2006 / Effects of nitrogen doping and illumination on lattice constants and conductivity behavior of zinc oxide grown by magnetron sputtering / J. Appl. Phys 99 (12)
C.H. Park / 2002 / Origin of p-type doping difficulty in ZnO: The impurity perspective / Phys. Rev. B 66 (7) : 073202 ~
D.C. Look / 2004 / As-doped p-type ZnO produced by an evaporation/sputtering process / Appl. Phys. Lett 85 (22) : 5269 ~
F.X. Xiu / 2005 / High-mobility Sb-doped p-type ZnO by molecular-beam epitaxy / Appl. Phys. Lett 87 (15) : 152101 ~
B. Yao / 2006 / Effects of nitrogen doping and illumination on lattice constants and conductivity behavior of zinc oxide grown by magnetron sputtering / J. Appl. Phys 99 (12)
C.H. Park / 2002 / Origin of p-type doping difficulty in ZnO: The impurity perspective / Phys. Rev. B 66 (7) : 073202 ~
D.C. Look / 2004 / As-doped p-type ZnO produced by an evaporation/sputtering process / Appl. Phys. Lett 85 (22) : 5269 ~
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