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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
67 - 68 (2page)

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마그네트론 스퍼터링을 이용하여 사파이어 기판위에 O₂의 분압에 따른 성장된 ZnO박막의 특성에 대해 연구하였다. O₂의 분압은 Ar/O₂의 비율에 의해 조절을 하여 성장을 하였으며, O₂의 분압이 감소함에 따라 결정성이 좋아지는 결과를 얻었다. PL측정결과에서 순수한 Ar분위기에서 성장된 ZnO박막에 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
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