Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성 ( Formation characteristics of selective area deposited insulating films by Laser CVD )

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성

권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method

成英權 ,  許允宗 ,  金鍾寬 외 2명

전기학회논문지

1993 .09

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

광 CVD법으로 제작한 비정질 실리콘 태양전지의 p/i 계면의 in-situ 수소처리 효과

장재훈 ,  임굉수

대한전자공학회 학술대회

1995 .12