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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1994년도 하계학술대회 논문집 A
발행연도
1994.7
수록면
103 - 105 (3page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 정전형 선형 마이크로 액튜에이터의 문제점 분석
3. Inchworm 마이크로 액튜에이터의 설계
4. Inchworm 마이크로 액튜에이터의 제작
5. Inchworm 마이크로 액튜에이터의 해석
6. 결론
참고문헌

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