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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제8호
발행연도
2007.1
수록면
685 - 690 (6page)

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The new design of inchworm-type piezoelectric actuator is presented in this paper. Compared to conventional inchworm-type actuators, which are composed of more than three piezoelectric bodies, we can reduce the number of piezoelectric bodies by employing the proposed design, resulting in only one piezoelectric body. The overall size of the proposed actuator which consists of one piezoelectric body, two clamping parts and one extending part, is only 5 × 6 × 9 [㎣] (DWL). The actuating characteristics of fabricated Monolithic Inchworm Type Actuator(MITA), were found to be a displacement of 0.3 ㎛, a generating force of 0.6 N and an electric power of 0.5 W.
#Monolithic #Inchworm #Multilayer #Piezoelectric actuator

목차

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참고문헌 (3)

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C. Niezrecki / 2001 / Piezoelectric actuation : State of the art / The Shock and Vibration Digest 33 (4) : 269 ~ google schola C. W. Moon / 2006 / A new fast inchworm type actuator with the robust I/Q heterodyne interferometer feedback / Mechatronics 16 : 105 ~ google schola P. E. Tenzer / 2004 / On amplifi- cation in inchworm precision positioners / Mechatronics 14 : 515 ~ google schola

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