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사파이어 래핑 공정에서 가압방식에 따른 웨이퍼표면 응력 분포 해석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2010 .11
A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
LED용 사파이어 웨이퍼 코어링 장비의 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .11
랩핑공정의 헤드가압방식에 따른 사파이어 웨이퍼 형상 변화 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
LED용 사파이어 웨이퍼 코어링 장비의 CAE 해석에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2012 .11
고정입자 마모에 따른 사파이어 기판 연마 특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
랩핑 정반 형상에 따른 사파이어 웨이퍼 형상 변화 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
광반도체용 사파이어웨이퍼 기계연마특성 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .02
GaN 증착용 사파이어 웨이퍼의 표면가공에 따른 압흔 특성
대한기계학회 논문집 A권
2005 .04
웨이퍼 평탄도 향상을 위한 단면래핑 공정 인자 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
GaN 증착용 사파이어 웨이퍼의 표면가공에 따른 압흔 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .10
LED 사파이어 웨이퍼 스크라이빙 오토머신 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
A study on the grinding characteristics of sapphire using ELID lapping technology
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
사파이어 웨이퍼의 기계-화학적인 연마 가공특성에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2004 .01
고정입자 정반을 이용한 사파이어 래핑에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
Effect of Platen Hardness on the Material Removal Rate of Sapphire Wafer in Single Side Lapping
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
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