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사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
염화칼륨 농도에 따른 사파이어 기판 CMP에 관한 연구
Tribology and Lubricants
2017 .10
탄화규소 및 사파이어 기판을 위한 화학기계적 연마(CMP)에 관한 문헌적 고찰
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구
Tribology and Lubricants
2021 .12
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
A Study on the Polishing Characteristics Using Floating Nozzle in Linear Roll CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2015 .07
CMP 연마 패드의 표면거칠기가 동압 형성 및 재료 제거에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
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