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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김다인 (동아대학교) 김혜원 (동아대학교) 이현섭 (동아대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
발행연도
2021.10
수록면
173 - 173 (1page)

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사파이어(Sapphire)와 탄화규소(Silicon carbide; SiC)는 발광다이오드(Light Emitting Diode; LED) 및 전력반도체(Power semiconductor)용 기판소재로 활용이 가능하다. 특히, 최근 전기자동차 산업의 발전과 더불어 사파이어와 SiC 기판에 대한 관심이 증가하고 있다. 그러나 두 소재 모두 일반적인 기계 가공이 어려운 소재(difficult-to-michine materials)로 알려져 있어 웨이퍼 형태로의 제조 과정에서 상당한 어려움이 따르고 있다. 특히 반도체용 기판의 최종 표면거칠기^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11028178');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Sapphire #Silicon carbide(SiC) #Chemical mechanical polishing(CMP)

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