지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 231 - 238 (8page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
사파이어 단결정은 GaN계 화합물 증착이 용이하여 고휘도 LED(Light Emitting Diode), 고출력 레이저 산업 등에서 크게 각광받고 있다. 다양한 사파이어 단결정 제조공법 중 vertical Bridgman 공법은 고품질의 사파이어를 c-축 방향으로 성장시킬 수 있는 공법이며 상업적으로 적용이 검토되고 있다. 본 연구에서는 2인치 사파이어 성장 vertical Bridgman 공정에서 성장시 온도구배에 의해 발생하는 열응력을 유한요소 모델을 통해 분석하였다. 이를 통해 성장시 수직, 수평방향으로의 온도구배가 사파이어 결정의 열응력과 결함발생에 미치는 영향을 검토하였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
A. Wang / 2002 / Single-crystal sapphire optical fiber sensor instrumentation : 21 ~
C. Miyagawa / 2013 / Demonstration of crack-free c-axis sapphire crystal growth using the vertical Bridgman method / J. Cryst. Growth 372 : 95 ~
C. Miyagawa / 2014 / Development of the vertical Bridgman technique for 6-inch diameter c-axis sapphire growth supported by numerical simulation / J. Cryst. Growth 402 : 83
C.P. Khattak / 2001 / Growth of the world’s largest sapphire crystals / J. Cryst. Growth 225 : 572 ~
F. J. Bruni / 2013 / Will Czochralski growth of sapphire once again prevail? / ACTA Phys. Pol. A 124 : 213 ~
C. Miyagawa / 2013 / Demonstration of crack-free c-axis sapphire crystal growth using the vertical Bridgman method / J. Cryst. Growth 372 : 95 ~
C. Miyagawa / 2014 / Development of the vertical Bridgman technique for 6-inch diameter c-axis sapphire growth supported by numerical simulation / J. Cryst. Growth 402 : 83
C.P. Khattak / 2001 / Growth of the world’s largest sapphire crystals / J. Cryst. Growth 225 : 572 ~
F. J. Bruni / 2013 / Will Czochralski growth of sapphire once again prevail? / ACTA Phys. Pol. A 124 : 213 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
사파이어 두께에 따른 백색 LED 광특성 변화에 따른 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2017 .05
-
고정용 지그 소재가 사파이어 날 부 칩핑에 미치는 영향
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
-
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
-
Studying Characteristics of Force Generation during Ultra-precision Machining of Single-crystal Sapphire
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
-
스펙트럼 분석을 이용한 사파이어 패턴 웨이퍼 불량 검출 시스템 설계
정보 및 제어 논문집
2017 .04
-
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
-
단결정 사파이어의 가공성 향상을 위한 2 단계 절삭 전략 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
-
탄화규소 및 사파이어 기판을 위한 화학기계적 연마(CMP)에 관한 문헌적 고찰
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
-
수용액 법으로 성장된 결정성 전기광학소자
대한전자공학회 학술대회
2017 .11
-
라우에 배면반사법을 이용한 PMN-PT 단결정 성장 방향 분석
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
Structural, Electrical, and Optical Properties of CdMnTe Crystals Grown by Modified Floating-Zone Technique
Electronic Materials Letters
2015 .01
-
초정밀 가공에서 기계학습을 통한 사파이어의 임계절삭깊이 예측
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
-
Research on Vertical Space System of Mixed-Use Complex
International journal of high-rise buildings
2015 .01
-
마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
-
외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
-
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .04
-
래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0