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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제10권 제3호
발행연도
2003.1
수록면
1 - 7 (7page)

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잉크젯 헤드의 발열체에 적용하기 위해 poly-Si/SiO2/Si 다층기판 위에 결정화된 안정한 코발트실리사이드(CoSi2) 박막을 형성하여 오메가 형태의 발열체를 제작하고 발열체의 구조적 형상과 온도저항계수 등 전기적 특성을 조사, 연구하였다. CoSi2 박막의 형성은 금속 Co 박막을 급속 열처리장치를 이용하여 800oC에서 20초 동안 질소 분위기에서 열처리하여 실리사이드 박막을 형성하였다. 온도저항계수 값은 약 0.0014/oC 값을 얻을 수 있었다. 인가전압 10 V, 주파수 10 kHz 및 펄스간격 1 s 인가시 발열체의 순간전력은 최대 2 W를 나타내었다. 반복된 전압인가에 따른 발열체의 피로특성을 조사한결과 15 V 이하의 전압인가시 108 펄스 cycle 까지 저항변화가 거의 없었으나 17 V 인가전압에서는 106cycle 에서 발열체의 저항이 급격히 증가하였다.
#잉크젯 히터 #코발트실리사이드 #온도저항계수 #발열체 #피로특성

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