메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제13권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
1 - 6 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
반도체 메모리 소자의 스피드 향상을 위해 저저항 배선층을 채용하는 방안으로 70 ㎚-두께의 아몰퍼스실리콘과 폴리실리콘 기판부에 TiSi2 타켓으로 각각 80 ㎚ 두께의 TiSix 복합실리콘을 스퍼터링으로 증착한 후 RTA 800℃-20sec 조건으로 실리사이드화 처리하고 사진식각법으로 선폭 0.5 ㎛의 배선층을 만들었다. 배선층에 대해 다시 각각 750℃-3hr, 850℃-3hr의 부가적인 안정화 열처리를 실시하였으며, 이때의 면저항의 변화는 four-point probe로 실리사이드층의 미세구조와 수직단면 두께 변화를 주사전자현미경과 투과전자현미경으로 관찰하였다. 아몰퍼스실리콘 기판인 경우 후속열처리에 따른 결정화 진행과 함께 급격한 면저항의 증가가 확인되었고, 이 원인은 결정화 과정에서 실리콘과 복합티타늄실리사이드 층과의 상호확산으로 표면 공공(void)을 형성한 것으로 미세구조 관찰에서 확인되었다. 따라서 복합티타늄실리사이드의 하지층의 종류와 열처리 조건을 바꾸어 저저항 또는 고저항 실리사이드를 조절하여 제작하는 것이 가능하여 복합 TiSi2를 저저항 배선층 재료로 채용할 수 있음을 확인하였다.
#composite titanium silicides #interconnects #fully silicide #gate #amorphous silicon.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
/ 1998 / Gate-oxide integrity in metal-oxide-semiconductor structures with Ti-polycide gates for ULSI applications 326 : 56 ~ 59 google schola / 1998 / Self-aligned Ti and Co silicides for high performance sub-0.18 ?HH?HHm CMOS technologies 320 : 110 ~ 121 google schola / 1999 / Reliability of nitrided wet silicon dioxide thin films in WSi2 or TaSi2 polycide process : influence of the nitridation temperature 38 : 937 ~ 342 google schola / 2001 / Phase transformations in Metals and Alloys google schola / 2002 / Electrically Programmable Fuse (eFUSE) Using Electromigration in Silicides 23 (9) : 523 ~ 525 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0