알루미늄 기판에 스크린 인쇄한 AlN 후막의 두께 방향으로 열전도도 평가

김종구; 박홍석; 김현; 한병동; 조영래

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김종구 박홍석 김현 한병동 조영래

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제22권 제4호

발행연도: 2015.1

수록면: 65 - 70 (6page)

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히트 싱크용 소재에 응용할 목적으로 단층금속과 2층 단면구조 복합재료에 대해 열전도 특성을 연구하였다. 단층금속으로는 알루미늄합금(Al6061)을 사용했으며, 2층 단면구조 복합재료로는 Al6061기판에 질화알루미늄(AlN)을스크린 인쇄한 층상구조 복합재료를 선택하였다. 섬광법으로 측정한 열확산계수와 비열 및 밀도를 사용해서 열전도도를측정하였다. 실험을 통해 얻은 열전도 특성 값을 참고문헌에 보고된 자료를 사용해 계산한 값과 비교하였다. Al6061 기판에 스크린인쇄법으로 AlN 후막을 형성시킨 2층 단면구조 복합재료 시편의 열전도도는 AlN 후막의 두께가 증가할수록선형적으로 감소하였다. 측정한 복합재료의 열전도도는 두께가 53 μm과 163 μm일 때, 각각 114.1 W/m·K와 72.3 W/ m·K로 나타났다. 또한, 스크린 인쇄한 AlN 후막의 열전도도를 열전도비저항에 대한 혼합법칙을 적용해서 평가하였다. AlN 후막의 두께가 53 μm와 163 μm인 경우, 스크린 인쇄한 AlN 후막의 열전도도는 각각 9.35 W/m·K와 12.40 W/m·K 로 나타났다.

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참고문헌 (21)

참고문헌 신청

C. J. H. Helmereich / 2014 / Measurement of Thermal Diffusivity of Depleted Uranium Metal Microspheres / J. Nucl. Mater 446 : 100 ~

D. R. Askeland / 2008 / The Science and Engineering of Materials / Thomson : 731 ~ 736

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