지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
2019
Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
Tribology and Lubricants
2022 .02
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 따른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석
Tribology and Lubricants
2022 .08
컨디셔닝 공정에서 컨디셔닝 디스크의 내경 변화에 따른 CMP 패드 마모에 대한 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
화학기계적평탄화 공정에서 컨디셔너구조가 패드 형상에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Identification of the Break-In Mechanism by Asperity Deformation of CMP Pad
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2021 .02
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP 패드의 그루브 두께 프로파일 측정 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
화학적기계연마 패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
표면이 마모된 틸팅 패드 저널베어링의 열윤활 해석 및 온도 측정
Tribology and Lubricants
2017 .08
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
화학기계적 연마에서 스윙암 구조 컨디셔닝의 오버행에 따른 연마패드 프로파일 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
0