The low temperature synthesis of Al doped ZnO films on glass & polymer using magnetron co-sputtering : working pressure and oxygen content effect

문창성; 정윤모; 정우성; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문창성 (성균관대학교 신소재 공학과) 정윤모 (성균관대학교 신소재 공학과) 정우성 (성균관대학교 신소재 공학과) 한전건 (성균관대학교 신소재 공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집

발행연도: 2005.1

수록면: 142 - 142 (1page)

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