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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
Peng, Yao (Institute of Electro-Optical Engineering, NCTU) Chen, C.N. (Institute of Electro-Optical Engineering, NCTU)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
발행연도
2005.1
수록면
679 - 683 (5page)

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In this study, we investigate the characteristic of the poly-Si grain and morphology influenced by XeCl excimer laser system. The stable laser beam source is basic requested; the irradiation beam through optical lens module is more important which limit the grain size smaller than $0.5{\mu}m$. The homogenization lens designs control the poly-Si grain size; so we hardly get enlarge grain size by one laser irradiation scan.

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